ZEM15臺式掃描電鏡的四大功能：
1、利用背散射電子衍射信號對樣品物質(zhì)進行晶體結(jié)構(gòu)(原子在晶體中的排列方式)，晶體取向分布分析，基于晶體結(jié)構(gòu)的相鑒定。
2、在半導體器件(IC)研究中的特殊應用：
1)利用電子束感生電流EBIC進行成像，可以用來進行集成電路中pn結(jié)的定位和損傷研究
2)利用樣品電流成像，結(jié)果可顯示電路中金屬層的開、短路，因此電阻襯度像經(jīng)常用來檢查金屬布線層、多晶連線層、金屬到硅的測試圖形和薄膜電阻的導電形式。
3)利用二次電子電位反差像，反映了樣品表面的電位，從它上面可以看出樣品表面各處電位的高低及分布情況，特別是對于器件的隱開路或隱短路部位的確定尤為方便。
3、顯示化學成分的空間變化，基于化學成分的相鑒定——-化學成分像分布，微區(qū)化學成分分析
1）用x射線能譜儀或波譜采集特征X射線信號，生成與樣品形貌相對應的，元素面分布圖或者進行定點化學成分定性定量分析，相鑒定。
2）利用背散射電子基于平均原子序數(shù)（一般和相對密度相關）反差，生成化學成分相的分布圖像；
3）利用陰極熒光，基于某些痕量元素受電子束激發(fā)的光強反差，生成的痕量元素分布圖像。
4）利用樣品電流，基于平均原子序數(shù)反差，生成的化學成分相的分布圖像，該圖像與背散射電子圖像亮暗相反。
5）利用俄歇電子，對樣品物質(zhì)表層進行化學元素分布的定性定理分析。
4、掃描電子顯微鏡追求固體物質(zhì)高分辨的形貌，形態(tài)圖像-形貌分析（表面幾何形態(tài)，形狀，尺寸）。
更新時間：2022-06-06 
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