臺(tái)式掃描電鏡的清洗頻率和部位

更新時(shí)間：2023-07-26

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臺(tái)式掃描電鏡主要應(yīng)用于對(duì)樣品微區(qū)形貌，結(jié)構(gòu)與組成進(jìn)行觀察與分析。它以分辨率高，景深好和操作簡(jiǎn)單而被廣泛應(yīng)用于材料學(xué)，物理學(xué)，化學(xué)，生物學(xué)，考古學(xué)，地礦學(xué)和微電子工業(yè)。

1、清洗頻率

清洗掃描電鏡的頻率取決于一系列因素及條件，其中包括:使用時(shí)間、樣品種類、加速電壓及電子束流等。

每次更換燈絲時(shí)，柵帽、柵帽光闌固定圈都要清洗，不必清洗陽極和陽極帽。當(dāng)見到明顯的污染及圖象象散過大時(shí)，就應(yīng)清洗物鏡光闌柄并用酒精燈燒物鏡光闌或換新光闌。如果上述部位都已被清洗過,還有明顯的污染和象散跡象，則應(yīng)拆下襯管進(jìn)行清洗。-般油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)，每三個(gè)月就要清洗- -次。渦輪分子泵真空系統(tǒng)，正常使用，每年清洗-次。

2、清洗部位

需要強(qiáng)調(diào)指出的是物鏡下極靴孔，如想清洗，須由有經(jīng)驗(yàn)的廠家維修工程師來清洗，若損傷物鏡的表面或邊緣將嚴(yán)重影響掃描電鏡的性能。在發(fā)現(xiàn)掃描電鏡有信號(hào)減弱和象散增大的跡象后,就要判斷污染所在的地方。這由掃描電鏡的真空泵類型決定，- 般由“70/20/10”規(guī)則判斷。