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掃描電鏡中的電子束對樣品的影響和調(diào)節(jié)方法

更新時間:2024-05-09    瀏覽量:725
 掃描電鏡中的電子束對樣品有幾方面的影響:

1. 表面充電效應(yīng):您已經(jīng)正確地指出了使用導(dǎo)電性樣品支撐或涂層,以及在樣品表面鍍覆導(dǎo)電材料可以減少表面充電效應(yīng)。此外,還可以通過調(diào)整掃描電鏡的工作模式(如使用環(huán)境掃描電子顯微鏡,它允許在較高壓力下工作,從而減少充電效應(yīng))來減輕這一問題。

2. 樣品損傷:降低電子束的能量和減少暴露時間確實是減少樣品損傷的有效方法。此外,還可以通過優(yōu)化掃描模式(例如,使用快速掃描和慢速采集的組合)來減少樣品受到的輻射劑量。

3. 放射性偽影:您提到的使用低加速電壓和適當(dāng)?shù)臋z測器是正確的。還可以通過能量色散X射線光譜(EDS)分析來區(qū)分真正的X射線信號和偽影,以及通過使用背散射電子衍射(EBSD)技術(shù)來獲得晶體結(jié)構(gòu)信息,這有助于識別和排除偽影。

4. 散射效應(yīng):使用較低的電子束能量和更小的束直徑是減少散射效應(yīng)的有效方法。此外,還可以通過優(yōu)化樣品的形狀和大小,例如制作更薄的切片或者使用聚焦離子束(FIB)技術(shù)來制備樣品,以減少電子束在樣品中的散射。

5. 綜合調(diào)節(jié)方法:在實際操作中,可能需要綜合考慮上述各種因素,并根據(jù)樣品的特性和成像目標(biāo)進(jìn)行優(yōu)化。例如,對于不導(dǎo)電的生物樣品,可能需要進(jìn)行金屬涂覆;而對于需要觀察微觀結(jié)構(gòu)的材料科學(xué)樣品,則可能需要使用FIB制備薄片。

為了調(diào)節(jié)電子束對樣品的影響,通常需要根據(jù)具體的樣品類型和成像要求采取相應(yīng)的措施。這可能涉及調(diào)整電子束的能量、電流和聚焦,選擇合適的檢測器和樣品準(zhǔn)備方法,以及在成像過程中對樣品進(jìn)行實時監(jiān)控和調(diào)整。

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安徽澤攸科技有限公司是一家具有自主知識產(chǎn)權(quán)的科學(xué)儀器公司, 自20世紀(jì)90年代開始投入電鏡及相關(guān)附件研發(fā)以來,研發(fā)團(tuán)隊一直致力于為納米科學(xué)研究提供優(yōu)秀的儀器。目前,公司有包括PicoFemto系列原位TEM測量系統(tǒng)原位SEM測量系統(tǒng)、ZEM系列臺式掃描電鏡、JS系列臺階儀、納米位移臺二維材料轉(zhuǎn)移臺、探針臺及低溫系統(tǒng)、光柵尺等在內(nèi)的多個產(chǎn)品線。

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