國產(chǎn)臺式掃描電鏡掃描速度快，信號采集帶寬10M，可以在視頻模式下流暢實(shí)時的顯示樣品。只需鼠標(biāo)就可完成所有操作，不需對中光闌等復(fù)雜步驟，聚焦消像散后可直接拍圖。主機(jī)集成高壓及控制系統(tǒng)，體積小巧，便于移動，可出差攜帶，安裝無需特殊環(huán)境，只需找一張桌子，供電就可工作。
國產(chǎn)臺式掃描電鏡的優(yōu)勢：
操作簡便、進(jìn)樣換樣時間短，視試效率高。
鎢燈絲耗材成本低、更換簡單。
分辨率及放大倍數(shù)優(yōu)于光學(xué)顯微鏡，夏蓋大多數(shù)樣品電鏡測試需求。
可拓展元素分析能力。
無需特殊安裝環(huán)境、對震動、磁場抗干擾能力強(qiáng)。
國產(chǎn)臺式掃描電鏡用較細(xì)的電子束在樣品表面掃描（高速電子轟擊樣品），將產(chǎn)生的各種電子用特制的探測器收集，形成電信號運(yùn)送到顯像管，在熒光屏上顯示物體，或者將激發(fā)出來的特征X光通過能譜儀或者波譜儀進(jìn)行定量的成分分析的一種分析儀器。
掃描電鏡分辨率與電子在試樣上的小掃描范圍有關(guān)，電子束斑越小，電子在試樣上的分辨率越高。在保證束斑足夠小的情況下，電子束還要有足夠的強(qiáng)度。束流太低不能從試樣表面激發(fā)足夠的信號，噪聲影響大。
二次電子對形貌敏感。凸起部位亮，凹陷部位暗，景深好，細(xì)節(jié)清晰。
背散射電子對原子序數(shù)敏感，原子序數(shù)高的區(qū)域能得到更多的背散射電子，相應(yīng)圖像較亮，可以用來觀察材料成分的分部。
X光原子被激發(fā)會發(fā)出X光，每種元素受激發(fā)射發(fā)出的X光會不同，通過對不同X光進(jìn)行檢測，就可知道材料中包括什么元素和比例。
背散射探測器受真空度影響不大，可以適用于高真空和低真空模式。
二次電子探頭受真空影響較大，分辨率大大降低。在低真空模式下需要特定的探頭。
更新時間：2022-05-17 
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